钨研磨机械价格
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钨化学机械抛光工艺优化研究 - 豆丁网
2012-6-27 · 从图中可以看出，化学机械抛光成本相当昂贵，仅次于光刻工艺，位居第二，而 其中钨抛光的成本又是整个化学机械抛光中最高的，占34％，如图卜16所示。这主要 是由于钨抛光所使用的抛光液价格很高，几乎是层间绝缘膜化学机械抛光的2倍。,,,,,,
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